2017定8埖25晩 及143指サイエンスカフェ
スマホのシェイクを湖じる弌さなセンサ、肝は芙氏を寄きく笋┐
゛MEMSとIoTのお゛
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プロフィ`ル
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_岸晩2017定8埖25晩┰陦18:00゛19:45
氏 : せんだいメディアテ`ク
古勣
尅ったり、iいたり、鞠ったり。スマホはF圭の佩咾鬚茲わかっています。もちろんですから、しゃべっていることも。スマホはなぜこんなにF圭のことをわかっているのか、このおでわかってみませんか燭修靴董}のIoTとのvSも。
QA
Q. シリコンウェハはどうして厥里覆里燭修海ら膨叔侘のセンサを恬るとなると、どうしてもあまりができてしまいもったいない。膨叔侘のウェハならムダなく聞えるのではないか
A. シリコンウェハの侘は、シリコンをY唱撹Lさせたときの侘彜に喇栖します。チョクラルスキ`隈と柵ばれる圭隈で撹Lさせると、シリコンは雙彜のY唱となります┐海譴鬟ぅ鵐乾奪箸蛤瑤咾泙坑。それを俳りにし、燕中を張いて、シリコンウェハをu夛しますので、シリコンウェハは厥里砲覆襪錣韻任后MEMSチップは方mm叔參和と噴蛍弌さいので、厥里離轡螢灰鵐ΕД呂任盒砲侶修泙任曚箸鵑ojなく聞えます。シリコンの麿に峻さんがよく岑っているY唱に邦唱があります。邦唱は邦畉漏彪┐蛤瑤个譴觀酬┐燃負Lさせますが、雙彜には撹Lしません。邦唱はクロックk尅匂としてあらゆる徨C匂に喘いられていますが、そのu夛に喘いられる邦唱ウェハは、謹くの栽、厥里任呂△蠅泙擦鵝
歌深ウェブサイト
?SUMCO┘轡螢灰鵐ΕД魯瓸`カ` http://www.sumcosi.com/products/process/
?晩云襖垢I邦唱デバイスメ`カ` http://www.ndk.com/jp/crystal_world/010/index.html
Q. 房ったよりu瞳gが互いように房う。このコストの寄何蛍は、フォトリソ垢殻のもので可創徭悶ではないと深えます。屎しいですか
A. 可創のコストがu瞳gの寄何蛍を媼めるわけではありません。また、駅ずしもフォトリソグラフィ垢殻がコスト貧、屶塘議であるわけでもありません。光垢殻にどのくらいのコストがかかるかは、麗やエネルギ`にかかるコストや繁周Mの麿に、聞喘する廾崔蛤のp抜Mなどにもよります。また、垢の借P楕、つまり伏b楚にもよります。シリコンウェハからMEMSチップができた瘁にも、テストやパッケ`ジングにコストがかかります。むしろそれらのコストがu瞳gに寄きな護栽を媼めることが富なくありません。
輝晩の徨