2011年11月10日、東北大学東京分室に於いて、次世代の集積回路技術を担う三次元デバイスに関する公開ワークショップ「5th Stanford and Tohoku Universities Joint Open Workshop on 3D Transistor and its applications (第5回三次元トランジスタとその応用に関するスタンフォード大学と東北大学の共同公開ワークショップ)」が、本学 学際科学国際高等研究センター(CIR)の遠藤哲郎教授とスタンフォード大学 集積化システム研究センター(CIS)の西義雄教授との共同主催にて、開催されました。

本ワークショップは、本学の遠藤教授とスタンフォード大学の西教授との間で進められてきた先端三次元構造半導体集積回路技術に関する共同研究の成果報告とその更なる発展を目指して、次世代のシリコン集積回路技術を担う三次元構造デバイス技術と三次元集積回路技術、三次元集積回路の材料?プロセス技術、三次元配線技術等をスコープとして開催されております。

本ワークショップを含む長年の本共同研究に基づく強固な協力関係が発展した結果、2009年4月には、本学CIRはスタンフォード大学CISとの間で、本学として初めてスタンフォード大学との部局間協定を締結するに至っております。

5回目を迎えた本年も、世界を牽引する三次元集積回路技術の研究者6名を招待講演者が、FinFET、BiCS、memory cell stack、Cu metallization技術に関する講演を行いました。130名を超える参加者が集い、最先端の研究成果に基づく各講演者の熱意溢れる講演に加え、活発な議論が交わされ、今年度も成功裡に幕を閉じました。

なお、本ワークショップは本学CIRの学際領域国際共同研究の一環として行なわれました。

	ワークショプ招待講演者
本学遠藤教授による Opening Remarks	ワークショップ風景（東北大学東京分室）

[問い合わせ先]
学際科学国際高等研究センター 遠藤研究室
TEL 022-795-5260