東北大学多元物質科学研究所?豊田光紀助教らの研究グループは、兵庫県立大学および、株式会社EUVL基盤開発センターとの共同研究で、独自に開発したEUV多層膜ミラー顕微鏡により、16nm世代用のEUVリソグラフィ用マスクを高い空間分解能で観測することに成功しました。本顕微鏡により、16nm世代用マスクの上に僅かに残留する欠陥が、微細回路パターンの焼き付け時に与える影響の大きさを、定量的に評価することが初めて可能となりました。

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東北大学　多元物質科学研究所
担当：豊田光紀（助教）、角館俊行（技術職員）
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